- Disney и Warner Bros. запустят общую... (5791)
- Google представила мощную нейросеть... (6332)
- Sabrent выпустила компактный SSD Rocket Nano... (6190)
- Ирония судьбы: Microsoft нуждается в играх... (6139)
- Toyota станет более китайской: новые машины... (6572)
- Samsung дала, Samsung же и забрала. Компания... (6039)
- Apple сделала свой базовый iPad дешевле, и... (6190)
- Совершенно новый Haval H6 появился у дилеров... (10996)
- Зонд «Чанъэ-6» для первого в истории забора... (8235)
- Названы самые качественные и надежные... (7065)
- Старший брат Geely Coolray с 299 л.с. и... (8886)
- AMD продолжает теснить Intel абсолютно во... (6833)
- AMD продолжает теснить Intel абсолютно во... (9697)
- Экран OLED с рекордной яркостью, 120 Гц,... (6733)
- Microsoft лишила игроков новой Dishonored и... (9737)
- Внутри смартфона Huawei Pura 70 Pro нашли... (4245)
Imec и ASML показали получение линий с шагом 24 нм с использованием EUV-литографии с одной экспозицией
Дата: 2020-02-25 11:27
На проходящей сейчас конференции SPIE Advanced Lithography Conference институт imec и компания ASML объявили о прорыве в EUV-литографии. Речь идет о формировании линий с шагом 24 нм с применением всего одной экспозиции. Линии с таким шагом соответствуют размерам критически важных металлических слоев технологического узла 3 нм, формируемых на конечной стадии полупроводникового производства.
Линии с таким шагом с применением передовых материалов, оптимизированных настроек и схем обработки позволяет формировать система ASML NXE: 3400B, установленная в чистой комнате imec для работы с 300-миллметровыми пластинами во втором квартале 2019 года. Она позиционируется как платформа для ранней разработки фоторезистов и шаблонов для будущих узлов техпроцессов, предназначенных для системы EUV следующего поколения ASML — EXE: 5000. Появление ASML EXE: 5000 на рынке ожидается в 2022 году. Эта система будет иметь цифровую апертуру 0,55, что намного выше, чем у 0,33 современных систем EUV, таких как NXE: 3400B.
КомментироватьПодробнее на iXBT
Предыдущие новости
Первое в мире зарядное устройство с нитридом галлия мощностью 120 Вт
Компания Basel выпустила свое первое зарядное устройство с нитридом галлия в 2019 году, а в этом году популярность подобных адаптеров продолжает стремительно расти. Сегодня компания представила новое зарядное устройство Basel Galio, мощность которого составляет 120 Вт. Нитрид галлия (GaN) и карбид кремния (SiC), используемые в данном адаптере, в настоящее время являются...
Названа цена на Honor View 30 Pro для российского рынка
Компания Honor представила смартфон View 30 Pro. Мобильный телефон будет продаваться только на российском рынке. Как сообщает ToDay News Ufa, корпус мобильного телефона создан из стекла и
Google и Huawei продолжат сотрудничество
В сообщении директора по правовым вопросам Android и Google Play Тристана Островски отмечается, что обеспечение безопасности пользователей Google на устройствах Huawei является целью американской
Самый доступный Redmi рекордно упал в цене у себя на родине
Недорогой смартфон Redmi 7A изначально вышел в конце мая и изначально предлагался по цене около 85 долларов. Теперь же цена Redmi 7A в Китае опустилась до 70 долларов, что делает его одним из самых привлекательных недорогих смартфонов. Смартфон Redmi 7A оснащен 5,45-дюймовым HD-экраном с классическим соотношением сторон 18:9, который получил режим защиты глаз, а также...