Компания Mitsubishi Electric сообщила о разработке компактного лидара, в котором используется технология MEMS. Устройство обеспечивает очень широкий горизонтальный угол сканирования. Оно предназначено для самоуправляемых транспортных средств и позволит им обнаруживать объекты по ходу движения.

Лидар облучает объекты лазером, используя для приема отраженного света зеркало MEMS, с помощью которого реализовано сканирование по двум осям (горизонтальной и вертикальной). Чтобы получить точные трехмерные изображения объектив, необходимо зеркало с большой площадью поверхности, а для мониторинга периферийных областей требуется широкий угол сканирования. По словам Mitsubishi Electric, в новом лидаре используется самое большое в отрасли электромагнитное зеркало MEMS размером 7х5 мм, способное сканировать по горизонтали и вертикали. Угол сканирования по горизонтали достигает ±15°, по вертикали — ±3,4°, но в Mitsubishi Electric рассчитывают увеличить его до ±6,0°. Ожидается, что со временем угол сканирования по вертикали будет увеличен до 25°, что позволит обнаруживать транспортные средства и пешеходов даже в непосредственной близости от самоуправляемого средства.

К достоинствам зеркал MEMS относится возможность массового производства на кремниевых подложках с использованием хорошо освоенных технологий полупроводникового производства. Меньшее количество деталей по сравнению с зеркалами, приводимыми в движение механически с помощью двигателей, должно способствовать долговечности устройства.

Объем лидара составляет всего 900 см3. Перед специалистами Mitsubishi Electric поставлена цель разработать сверхмалый лидар объемом не более 350 см3.