- Вызывающий привыкание роглайк Ball x Pit... (392)
- Клавиатура с экраном во всю подложку с... (317)
- OpenAI объявила код «Красный». Компания... (293)
- На Солнце вызревает аномальная активность —... (349)
- Samsung и SK hynix решили сделать всё, чтобы... (353)
- Соавтор Counter-Strike признался в любви к... (355)
- Не заметили: межзвёздная комета 3I/ATLAS... (373)
- Sony представила A7 V — свою первую... (455)
- Не пропустить штраф и запись ко врачу: в... (495)
- Apple резко снизила награды багхантерам —... (510)
- Разработчики Battlefield 6 почти полностью... (320)
- Mortal Kombat 1, Routine и Dome Keeper... (456)
- Google закрыла 107 дыр в Android — две... (594)
- Насколько выгорит QD-OLED монитор почти за... (481)
- Слепому человеку впервые вернули зрение с... (323)
- AMD не будет отвечать на GeForce RTX 50... (356)
У ASML готовы пелликулы для EUV-литографии
Дата: 2021-03-24 08:47
Компания ASML завершила разработку пелликул, подходящих для фотолитографии в жестком ультрафиолетовом диапазоне (EUV).
Пелликулами называются ультратонкие прозрачные мембраны для защиты фотошаблонов от попадания на них частиц, которые приводят к появлению дефектов в чипах.
В отсутствие пелликул производителям, уже использующим EUV, приходилось мириться с потенциально низким выходом годной продукции и увеличением затрат на очистку масок и тестирование пластин.
Создание защитных пленок, подходящих для EUV, потребовало много времени, поскольку предъявляемые к ним требования существенно отличаются от требований к пленкам для предыдущего поколения фотолитографии. Однако, как только они появятся на рынке, ожидается, что все производители полупроводниковой продукции, осваивающие или уже использующие EUV, интегрируют их в свои техпроцессы. Это позволит повысить процент выхода годной продукции и снизить ее стоимость.
Уточним, что первые прототипы у ASML были готовы еще в 2016 году, но они имели невысокое светопропускание (78%). В прошлом году этот показатель удалось довести до 88%. Последние образцы характеризуются светопропусканием 90,6%. Кроме того, удалось существенно уменьшить коэффициент отражения и увеличить равномерность слоя.
По данным источника, пелликулы для EUV-литографии планируют предложить и другие участники рынка, помимо ASML.
Подробнее на iXBT
Предыдущие новости
LG к 2024 году завершит стадию исследований 6G и запустит коммерческую сеть в 2029 году
Компания LG заявила, что первая коммерческая сеть 6G будет доступна в 2029 году. LG утверждает, что 6G обеспечит более высокую скорость передачи данных. Кроме того, 6G также будет предлагать меньшую задержку в сети и более высокую надежность, чем 5G. Новая сеть сможет обновить концепцию Интернета всего (IoT) и предложит пользователям улучшенные возможности подключения....
Первый неубиваемый смартфон со стереодинамиками, NFC и аккумулятором на 8000 мА•ч предлагают всего за 140 долларов
Недавно компания Cubot представила первый неубиваемый смартфон со стереодинамиками, NFC и аккумулятором на 8000 мА•ч, который называется Kingkong 5 Pro. Теперь же стало известно о том, что продажи новинки стартуют 29 марта, при этом цена Kingkong 5 Pro для первых покупателей составит 140 долларов. После 2 апреля цена увеличится до 250 долларов. Огромного аккумулятора ёмкостью...
Планы нового руководства Intel воодушевили инвесторов, акции подорожали на 6,6 %
В конце июля курс акций Intel существенно снизился после признаний тогдашнего руководителя компании в необходимости активнее использовать услуги контрактных производителей. Веру в технологическое могущество Intel смогло укрепить только назначение Патрика Гелсингера (Patrick Gelsinger) новым генеральным директором, а его программа развития корпорации оказала дополнительную...
Полностью беспроводные наушники Master & Dynamic MW08 снабжены активным шумоподавлением
Тридцатого марта компания Master & Dynamic начнёт продажи полностью беспроводных наушников погружного типа MW08: цена модели премиального уровня составит приблизительно 300 долларов США. Модули-вкладыши для левого и правого уха наделены высококачественными 11-миллиметровыми бериллиевыми излучателями. Поддерживается беспроводная связь Bluetooth...