- MSI Katana 17 HX B14W —... (1568)
- Toyota наняла семь человекоподобных роботов... (1698)
- Смартфон Infinix NOTE 60 Pro с... (1704)
- OpenAI «спит с одним открытым глазом», чтобы... (1540)
- ESET выявила первый вирус для Android,... (1604)
- Умный диктофон TicNote с поддержкой... (2225)
- Доступный смартфон Infinix NOTE Edge с... (2095)
- Google добавила в Chrome разделённый экран и... (2212)
- Возвращение Дефекта, кооператив и дата... (1683)
- Рингтон Samsung Galaxy S26 исполнен... (1564)
- Представлена Gemini 3.1 Pro — новая «самая... (2382)
- Уволенный топ-менеджер Xiaomi и Redmi... (2147)
- Учёные нашли способ бороться с лунной пылью... (1611)
- OpenAI «спит с одним открытым глазом», чтобы... (1437)
- NASA признало репетицию заправки ракеты... (1646)
- Номер дороже гиперкара: в России продают... (1633)
У ASML готовы пелликулы для EUV-литографии
Дата: 2021-03-24 08:47
Компания ASML завершила разработку пелликул, подходящих для фотолитографии в жестком ультрафиолетовом диапазоне (EUV).
Пелликулами называются ультратонкие прозрачные мембраны для защиты фотошаблонов от попадания на них частиц, которые приводят к появлению дефектов в чипах.
В отсутствие пелликул производителям, уже использующим EUV, приходилось мириться с потенциально низким выходом годной продукции и увеличением затрат на очистку масок и тестирование пластин.
Создание защитных пленок, подходящих для EUV, потребовало много времени, поскольку предъявляемые к ним требования существенно отличаются от требований к пленкам для предыдущего поколения фотолитографии. Однако, как только они появятся на рынке, ожидается, что все производители полупроводниковой продукции, осваивающие или уже использующие EUV, интегрируют их в свои техпроцессы. Это позволит повысить процент выхода годной продукции и снизить ее стоимость.
Уточним, что первые прототипы у ASML были готовы еще в 2016 году, но они имели невысокое светопропускание (78%). В прошлом году этот показатель удалось довести до 88%. Последние образцы характеризуются светопропусканием 90,6%. Кроме того, удалось существенно уменьшить коэффициент отражения и увеличить равномерность слоя.
По данным источника, пелликулы для EUV-литографии планируют предложить и другие участники рынка, помимо ASML.
Подробнее на iXBT
Предыдущие новости
LG к 2024 году завершит стадию исследований 6G и запустит коммерческую сеть в 2029 году
Компания LG заявила, что первая коммерческая сеть 6G будет доступна в 2029 году. LG утверждает, что 6G обеспечит более высокую скорость передачи данных. Кроме того, 6G также будет предлагать меньшую задержку в сети и более высокую надежность, чем 5G. Новая сеть сможет обновить концепцию Интернета всего (IoT) и предложит пользователям улучшенные возможности подключения....
Первый неубиваемый смартфон со стереодинамиками, NFC и аккумулятором на 8000 мА•ч предлагают всего за 140 долларов
Недавно компания Cubot представила первый неубиваемый смартфон со стереодинамиками, NFC и аккумулятором на 8000 мА•ч, который называется Kingkong 5 Pro. Теперь же стало известно о том, что продажи новинки стартуют 29 марта, при этом цена Kingkong 5 Pro для первых покупателей составит 140 долларов. После 2 апреля цена увеличится до 250 долларов. Огромного аккумулятора ёмкостью...
Планы нового руководства Intel воодушевили инвесторов, акции подорожали на 6,6 %
В конце июля курс акций Intel существенно снизился после признаний тогдашнего руководителя компании в необходимости активнее использовать услуги контрактных производителей. Веру в технологическое могущество Intel смогло укрепить только назначение Патрика Гелсингера (Patrick Gelsinger) новым генеральным директором, а его программа развития корпорации оказала дополнительную...
Полностью беспроводные наушники Master & Dynamic MW08 снабжены активным шумоподавлением
Тридцатого марта компания Master & Dynamic начнёт продажи полностью беспроводных наушников погружного типа MW08: цена модели премиального уровня составит приблизительно 300 долларов США. Модули-вкладыши для левого и правого уха наделены высококачественными 11-миллиметровыми бериллиевыми излучателями. Поддерживается беспроводная связь Bluetooth...