- Новая статья: Компьютер месяца — октябрь... (785)
- Новая статья: Обзор робота-уборщика Dreame... (686)
- Blue Origin совершила 15-й запуск корабля... (1269)
- Спутниковая группировка Starlink теряет по... (1085)
- AST SpaceMobile перехватила клиента у... (1023)
- В России стартовали продажи... (962)
- Blue Origin доставила ускоритель New Glenn... (1010)
- В Steam открылось тестирование Valor Mortis... (915)
- И BMW, как и Tesla, обогнал Mercedes по... (780)
- В Россию из Европы приехал Skoda Kodiaq с... (984)
- Google Chrome, Safari и Microsoft Edge... (809)
- Нобелевскую премию по химии за 2025 года... (1181)
- Комета C/2025 A6 (Lemmon) даёт последний... (958)
- Двухметровые кровати, душ, экраны и... (1146)
- Самое большое дополнение в истории Crusader... (758)
- Кома межзвёздной кометы 3I/ATLAS подтвердила... (949)
Российские ученые добавили литий в гелиевый плазменный заряд — получился новый источник излучения для EUV-литографии
Дата: 2024-11-30 18:19
Работники Национального исследовательского университета «МЭИ» создали новый источник излучения для EUV-литографии — с повышенным КПД относительно нынешних разработок. Для этого ученые добавили литий в гелиевый плазменный заряд. Новый источник позволит выпускать интегральные схемы по более тонкому техпроцессу и с большим быстродействием. Пока разработка находится на стадии прототипа, но в конечном итоге такой источник планируется применять в российских литографах.

«В МЭИ разработали экспериментальный образец источника излучения в экстремальном ультрафиолете. Эксперименты с добавлением лития в гелиевый плазменный разряд показали возможность создания стационарного источника, востребованного технологией ЭУФ-литографии, которая применяется в микроэлектронике для уменьшения характерных размеров элементов схем, в результате чего увеличивается их быстродействие и уменьшается размер изделия», — рассказали в вузе.
Подробнее на iXBT
Предыдущие новости
Процессор Xiaomi, который компания разрабатывает для своих смартфонов, не имеет модема 5G, и это довольно серьёзная проблема
Новая попытка Xiaomi выйти на рынок однокристальных систем для смартфонов будет сопряжена с одной серьёзной проблемой. Эта SoC не имеет модема 5G. фото WCCF Tech Разработать модем намного сложнее, чем саму SoC. Мы это отлично видели на примере Intel и сейчас видим на примере Apple. Xiaomi, возможно, даже не пыталась, так что у нового чипа не будет собственного модема. А это...
Lada Niva Travel стала полнокомплектной — АвтоВАЗ вернул во внедорожник все опции, которые были до 2022 года
АвтоВАЗ на этой неделе объявил цены на Lada Niva Travel с подушками безопасности, а инсайдеры паблика Avtograd отметили другую особенность внедорожника: вместе с подушками безопасности в машину вернулись все опции, которые были до кризиса 2022 года. Правда, есть нюанс: все опции вернулись в топовую комплектацию машины — Luxe. Фото: Lada «Спустя два года Lada Niva Travel Luxe...
И без того дешевый кроссовер стал еще дешевле. В России переписали стоимость Livan X3 Pro в топовой комплектации
Кроссовер Livan X3 Pro стал доступнее в России. Стоимость его не изменилась, но на 40 тыс. рублей вырос размер прямой скидки топовой комплектации Luxury — со 140 до 180 тыс. рублей. В итоге автомобиль подешевел до 1,71 млн рублей. На базовое исполнение Comfort действует скидка в размере 113 тыс. рублей, такой автомобиль стоит 1,56 млн рублей. Изображение: Livan Изображение:...
Этот уникальный компьютерный корпус поднимет далеко не каждый мужик. InWin Infinite весит почти 50 кг и стоит почти 7000 евро
Компания InWin известна своими необычными корпусами. И модель Infinite — одна из таких. фото InWin Это очень большой, очень необычный внешне и очень дорогой корпус. Это уже 11-е поколение Infinite. Тут можно видеть стекло сложной формы, алюминиевый корпус, а ещё тут есть мотор, который двигает большую часть корпуса, открывая доступ к комплектующим. фото InWin фото InWin...