Литографические машины ASML используются для производства полупроводниковой продукции, но компания IMEC обнаружила совершенно новое применение для этих дорогостоящих систем, которое вообще не касается чипов. На таких машинах можно создавать так называемые нанопоры. 

Нанопорами называют отверстия в материалах диаметром в несколько или несколько десятков нанометров. Они могут быть разные, но в пример топ-менеджер ASML, рассказавший эту историю, привёл человеческий волос. Нанопоры тоньше в 10 000 раз. 

Нанопоры используются в биомедицине для различных задач. Это и секвенирование ДНК, и различные биомедицинские датчики, и доставка лекарств, и многое другое. 

Команда IMEC обнаружила неожиданное впечатляющее биомедицинское применение для возможностей высокоразрешающей литографии EUV от ASML: производство твердотельных «нанопор». 

Нанопоры — это невероятно крошечные отверстия, примерно в 10 000 раз тоньше человеческого волоса. Эти поры могут действовать как молекулярные контрольные точки для биомедицинских датчиков: когда отдельные молекулы, такие как вирус, белок или ДНК, продавливаются через отверстие, они создают электрические сигналы, которые можно обнаружить и проанализировать. 

До сих пор изготовление таких нанопор было медленным, дорогостоящим и могло осуществляться только небольшими партиями в лабораториях. 

Но компания IMEC нашла способ массового производства с помощью EUV-литографии, создавая надежные, точные и однородные массивы нанопор на 300-миллиметровых пластинах из нитрида кремния. Они представили свою концепцию на Международной конференции по электронным устройствам IEEE 2025. 

Эта концепция означает, что нанопоры могут начать переход из академических лабораторий в больницы, клиники и исследовательские центры. В свою очередь, это может привести к появлению диагностики нового поколения, улучшению геномики, удешевлению медицинских тестов, персонализированной медицине и даже хранению молекулярных данных. 

Как видим, важность достижения IMEC не только в использовании машин ASML, а и в том, что таким способом нанопоры можно производить массово.