Зеленоградский завод «Микрон» (входит в группу «Элемент») выиграл тендер Минпромторга на разработку уникальной для России автоматизированной установки «Лучник» для измерения рассовмещения топологических слоев. Стоимость контракта составляет 1,56 млрд рублей. Оборудование является критически важным звеном в производстве микросхем, оно отвечает за идеальную точность наложения слоев при печати чипов на кремниевых пластинах. Цель проекта — создать отечественный аналог американской установки ARCHER 10 XT от компании KLA Tencor.

«Лучник» будет работать с пластинами диаметром 150 и 200 мм, контролировать точность наложения слоев с проектными нормами до 130 нм, обеспечивать производительность не менее 75 пластин в час, использовать встроенные интерферометры и алгоритмы машинного зрения для мгновенной коррекции процесса.

Разработка такой установки находится на стыке прецизионной механики, фундаментальной оптики и сложнейшего ПО. Предметный столик должен перемещаться с нанометровой погрешностью, требуется создание линз с экстремально высокой числовой апертурой, а завершить работы нужно до июля 2029 года — это очень жесткие требования для такой установки, создаваемой к тому же с нуля.

Вместе с тем, у «Микрона» есть стимул, ведь завод выступает одновременно и разработчиком, и заказчиком-потребителем. Наличие действующей производственной линии 200-миллиметровых пластин позволит инженерам оперативно обкатывать прототипы в реальных условиях, что значительно повышает шансы на успешную реализацию проекта «Лучник».