Электроннолучевая литография всё или почти всё. Крупнейший в мире производитель сканеров для полупроводниковой литографии, нидерландская компания ASML выпустила пресс-релиз, в котором сообщила о приобретении активов соотечественника ― компании Mapper из города Делфт в провинции Южная Голландия. Месяц назад Mapper сообщила о своём банкротстве, и ASML воспользовалась этим, чтобы по сходной цене стать собственником интересных разработок и заполучить грамотных инженеров. Однако финансовые детали сделки не разглашаются. Специализация компании Mapper ― это электроннолучевая полупроводниковая литография. Каких-то 9 лет назад считалось, что данный вид проекции при производстве чипов станет настолько же популярным, как и использование сканеров. Электроннолучевая литография позволяет обходиться без фотошаблонов ― рисунок наносится на кремниевую пластину (на фотрезист) с помощью бомбардировки множественными пучками электронов. Одновременно таких пучков-лучей может быть тысячи, что ускоряет проекцию каждой пластины. Экономия на фотомасках колоссальная. Для 300-мм пластин каждая маска стоит до $1 млн, а их на каждую пластину может понадобиться несколько десятков.

Подробнее на 3Dnews.ru