- ИИ-генератор видео Google Veo 3.1 научился... (1546)
- Энтузиаст полностью воссоздал... (2313)
- Ford защитил в России Mustang и... (1910)
- Rockstar запустила магазин платных модов для... (2175)
- Pro и Air в одном устройстве — ультратонкий... (2270)
- Экран складываемого втрое смартфона Samsung... (2133)
- Перископ в ультратонком корпусе, первая в... (1965)
- Только экран и ничего больше: дисплей Red... (1721)
- Китайская Svolt представила революционную... (2088)
- 165 Гц, зум 120х, 24 ГБ ОЗУ, 8000 мАч, 80... (2452)
- Межзвездная комета 3I/ATLAS идет на... (2360)
- Купить автопилот Tesla больше не получится:... (2775)
- Американские ракеты растут в размерах:... (2372)
- Intel обошла Samsung, но недотянула до TSMC:... (3347)
- Илон Маск оперативно запустил бесплатный... (1879)
- Армия США делает ставку на ИИ Маска — Grok... (2283)
У ASML готовы пелликулы для EUV-литографии
Дата: 2021-03-24 08:47
Компания ASML завершила разработку пелликул, подходящих для фотолитографии в жестком ультрафиолетовом диапазоне (EUV).
Пелликулами называются ультратонкие прозрачные мембраны для защиты фотошаблонов от попадания на них частиц, которые приводят к появлению дефектов в чипах.
В отсутствие пелликул производителям, уже использующим EUV, приходилось мириться с потенциально низким выходом годной продукции и увеличением затрат на очистку масок и тестирование пластин.
Создание защитных пленок, подходящих для EUV, потребовало много времени, поскольку предъявляемые к ним требования существенно отличаются от требований к пленкам для предыдущего поколения фотолитографии. Однако, как только они появятся на рынке, ожидается, что все производители полупроводниковой продукции, осваивающие или уже использующие EUV, интегрируют их в свои техпроцессы. Это позволит повысить процент выхода годной продукции и снизить ее стоимость.
Уточним, что первые прототипы у ASML были готовы еще в 2016 году, но они имели невысокое светопропускание (78%). В прошлом году этот показатель удалось довести до 88%. Последние образцы характеризуются светопропусканием 90,6%. Кроме того, удалось существенно уменьшить коэффициент отражения и увеличить равномерность слоя.
По данным источника, пелликулы для EUV-литографии планируют предложить и другие участники рынка, помимо ASML.
Подробнее на iXBT
Предыдущие новости
LG к 2024 году завершит стадию исследований 6G и запустит коммерческую сеть в 2029 году
Компания LG заявила, что первая коммерческая сеть 6G будет доступна в 2029 году. LG утверждает, что 6G обеспечит более высокую скорость передачи данных. Кроме того, 6G также будет предлагать меньшую задержку в сети и более высокую надежность, чем 5G. Новая сеть сможет обновить концепцию Интернета всего (IoT) и предложит пользователям улучшенные возможности подключения....
Первый неубиваемый смартфон со стереодинамиками, NFC и аккумулятором на 8000 мА•ч предлагают всего за 140 долларов
Недавно компания Cubot представила первый неубиваемый смартфон со стереодинамиками, NFC и аккумулятором на 8000 мА•ч, который называется Kingkong 5 Pro. Теперь же стало известно о том, что продажи новинки стартуют 29 марта, при этом цена Kingkong 5 Pro для первых покупателей составит 140 долларов. После 2 апреля цена увеличится до 250 долларов. Огромного аккумулятора ёмкостью...
Планы нового руководства Intel воодушевили инвесторов, акции подорожали на 6,6 %
В конце июля курс акций Intel существенно снизился после признаний тогдашнего руководителя компании в необходимости активнее использовать услуги контрактных производителей. Веру в технологическое могущество Intel смогло укрепить только назначение Патрика Гелсингера (Patrick Gelsinger) новым генеральным директором, а его программа развития корпорации оказала дополнительную...
Полностью беспроводные наушники Master & Dynamic MW08 снабжены активным шумоподавлением
Тридцатого марта компания Master & Dynamic начнёт продажи полностью беспроводных наушников погружного типа MW08: цена модели премиального уровня составит приблизительно 300 долларов США. Модули-вкладыши для левого и правого уха наделены высококачественными 11-миллиметровыми бериллиевыми излучателями. Поддерживается беспроводная связь Bluetooth...