- Учёные впервые «порулили» квантовой... (1258)
- Toyota может прекратить партнёрство с Subaru... (1258)
- Nissan подтвердил выпуск Xterra 2028 года с... (1297)
- Для конкуренции с Toyota 4Runner: Nissan... (1446)
- Новое подорожание Xbox Game Pass не затронет... (1208)
- Швейцарские учёные подключили нейроны из... (1497)
- В ранний доступ Steam ворвалась олдскульная... (1613)
- Представлен одноплатный компьютер Arduino... (1445)
- Материнская плата ASRock X870 RS PRO WiFi... (1489)
- Samsung представила уменьшенный 200-Мп... (1358)
- Asus показала GeForce RTX 5090 за... (1393)
- Steam сломался второй раз за день — проблемы... (1304)
- MSI выпустила GeForce RTX 5070 Ti Ventus 3X... (1722)
- Samsung представила 27-дюймовый монитор... (1237)
- Первый в мире мотоцикл с... (1282)
- В онлайн-кинотеатре Kion появились детские... (1244)
В России появится свой передовой литограф для производства 10-нанометровых процессоров, но есть нюанс — ждать его придется долго
Дата: 2025-09-30 14:50
Институт физики микроструктур Российской академии наук подготовил дорожную карту по созданию отечественных установок экстремальной ультрафиолетовой литографии. Самая передовая система, позволяющая производить процессоры и однокристальные системы по техпроцессу 10 нм (и меньше), появится примерно через 10 лет.

Российские литографы не будут похожи на литографы ASML. Так, в отечественных машинах планируется использовать совершенно иной набор технологий: гибридные твердотельные лазеры, источники света на основе ксеноновой плазмы и зеркала из рутения и бериллия. Выбор ксенона вместо олова, применяемого в машинах ASML, позволит избежать загрязнения фотошаблонов, что значительно снизит затраты на обслуживание. При этом, по сравнению с DUV-установками ASML, меньшая сложность конструкции позволит избежать использования иммерсионных жидкостей под высоким давлением.

Дорожная карта включает в себя три основных этапа:
Первый этап (2026–2028 годы): Создание литографа для 40-нанометрового техпроцесса со скоростью более пяти пластин в час; Второй этап (2029–2032 годы): Разработка сканера, позволяющего выпускать CPU и SoC по техпроцессу 14 нм со скоростью более 50 пластин в час; Третий этап (2033–2036 годы): Создание системы для производства чипов с разрешением менее 10 нм и скоростью более 100 пластин в час.В каждом поколении литографов будет совершенствоваться оптическая система и эффективность сканирования, при этом стоимость единицы продукции должна быть гораздо ниже, чем в случае использования систем ASML Twinscan NXE и EXE.
Подробнее на iXBT
Предыдущие новости
Китайцы создали самый сильный в мире сверхпроводящий магнит — в 700 000 раз мощнее поля Земли
Китайские учёные из Института физики плазмы Китайской академии наук (CAS) совершили прорыв, создав самый мощный в мире сверхпроводящий электромагнит силой 35,1 тесла (Тл). Это поле в 700 тыс. раз сильнее среднего магнитного поля Земли, составляющего 50 мкТл. Опытная установка удерживала поле стабильным 30 мин и сняла его без повреждения оборудования. Это достижение...
Logitech представила беспроводную мышь MX Master 4 с тактильной обратной связью за $120
Ещё летом с подачи Amazon были рассекречены основные характеристики беспроводной оптической мыши Logitech MX Master 4, которой суждено стать новым бестселлером марки среди манипуляторов данного типа для профессионалов. В продажу новинка поступит в октябре по рекомендованной цене $120, уже начали появляться её первые обзоры. Источник изображений:...
Бум атомной энергетики из-за ИИ ЦОД в США обойдётся в $350 млрд
По прогнозам Bloomberg Intelligence, растущий спрос на электричество в итоге приведёт к буму расходов на атомную энергетику в США. Отрасль получит $350 млрд, а выработка энергии к 2050 году увеличится на 63 %, сообщает агентство. Основным драйвером роста сектора является появление энергоёмких ИИ ЦОД. Инвестиции добавят реакторы на 53 ГВт, а общая мощность АЭС составит 159...
В «VK Видео» теперь можно поддержать деньгами авторов через кнопку под роликом или на странице канала
Команда социальной сети «ВКонтакте» сообщила о запуске на платформе «VK Видео» поддержки авторов через VK Donut. Как рассказали в пресс-службе, для блогеров это дополнительный источник дохода, для зрителей — доступ к эксклюзивному контенту. Иллюстрация: «ВКонтакте» / VK У авторов есть возможность настроить один или несколько уровней поддержки: от эксклюзивных роликов до...