- 6500 мАч, 90 Вт, 120 Гц, IP65 и Dimensity... (1292)
- OpenAI запланировала проекты на общую сумму... (1031)
- Gex, Road Rash, Doom и другие хиты: в... (1077)
- Верховный суд США не дал Google отсрочки в... (1665)
- Россияне разочаровались в «Москвиче»? В 2025... (1146)
- Прощальный аккорд Volvo V60: представлен... (1205)
- Возвращать их пока не научились: на Байконур... (1528)
- OpenAI не исключает появления рекламы в... (1015)
- Microsoft снова закрыла возможность... (2499)
- Дизайн как у Chevrolet Silverado, мотор... (1021)
- Российский «Автотор» выпустил за прошлый год... (1191)
- Вдохновлён легендарным Nissan Patrol:... (1173)
- По всему миру случился массовый сбой в... (1571)
- Одноклассник Mercedes-Benz GLS и Audi Q9:... (1174)
- JEDEC рассказала о работе над UFS 5.0 —... (1440)
- Китайцы модифицировали микробов для... (1092)
В России появится свой передовой литограф для производства 10-нанометровых процессоров, но есть нюанс — ждать его придется долго
Дата: 2025-09-30 14:50
Институт физики микроструктур Российской академии наук подготовил дорожную карту по созданию отечественных установок экстремальной ультрафиолетовой литографии. Самая передовая система, позволяющая производить процессоры и однокристальные системы по техпроцессу 10 нм (и меньше), появится примерно через 10 лет.

Российские литографы не будут похожи на литографы ASML. Так, в отечественных машинах планируется использовать совершенно иной набор технологий: гибридные твердотельные лазеры, источники света на основе ксеноновой плазмы и зеркала из рутения и бериллия. Выбор ксенона вместо олова, применяемого в машинах ASML, позволит избежать загрязнения фотошаблонов, что значительно снизит затраты на обслуживание. При этом, по сравнению с DUV-установками ASML, меньшая сложность конструкции позволит избежать использования иммерсионных жидкостей под высоким давлением.

Дорожная карта включает в себя три основных этапа:
Первый этап (2026–2028 годы): Создание литографа для 40-нанометрового техпроцесса со скоростью более пяти пластин в час; Второй этап (2029–2032 годы): Разработка сканера, позволяющего выпускать CPU и SoC по техпроцессу 14 нм со скоростью более 50 пластин в час; Третий этап (2033–2036 годы): Создание системы для производства чипов с разрешением менее 10 нм и скоростью более 100 пластин в час.В каждом поколении литографов будет совершенствоваться оптическая система и эффективность сканирования, при этом стоимость единицы продукции должна быть гораздо ниже, чем в случае использования систем ASML Twinscan NXE и EXE.
Подробнее на iXBT
Предыдущие новости
Китайцы создали самый сильный в мире сверхпроводящий магнит — в 700 000 раз мощнее поля Земли
Китайские учёные из Института физики плазмы Китайской академии наук (CAS) совершили прорыв, создав самый мощный в мире сверхпроводящий электромагнит силой 35,1 тесла (Тл). Это поле в 700 тыс. раз сильнее среднего магнитного поля Земли, составляющего 50 мкТл. Опытная установка удерживала поле стабильным 30 мин и сняла его без повреждения оборудования. Это достижение...
Logitech представила беспроводную мышь MX Master 4 с тактильной обратной связью за $120
Ещё летом с подачи Amazon были рассекречены основные характеристики беспроводной оптической мыши Logitech MX Master 4, которой суждено стать новым бестселлером марки среди манипуляторов данного типа для профессионалов. В продажу новинка поступит в октябре по рекомендованной цене $120, уже начали появляться её первые обзоры. Источник изображений:...
Бум атомной энергетики из-за ИИ ЦОД в США обойдётся в $350 млрд
По прогнозам Bloomberg Intelligence, растущий спрос на электричество в итоге приведёт к буму расходов на атомную энергетику в США. Отрасль получит $350 млрд, а выработка энергии к 2050 году увеличится на 63 %, сообщает агентство. Основным драйвером роста сектора является появление энергоёмких ИИ ЦОД. Инвестиции добавят реакторы на 53 ГВт, а общая мощность АЭС составит 159...
В «VK Видео» теперь можно поддержать деньгами авторов через кнопку под роликом или на странице канала
Команда социальной сети «ВКонтакте» сообщила о запуске на платформе «VK Видео» поддержки авторов через VK Donut. Как рассказали в пресс-службе, для блогеров это дополнительный источник дохода, для зрителей — доступ к эксклюзивному контенту. Иллюстрация: «ВКонтакте» / VK У авторов есть возможность настроить один или несколько уровней поддержки: от эксклюзивных роликов до...